隨著集成電路工業(yè)和半導(dǎo)體工業(yè)技術(shù)的發(fā)展越來(lái)越快，不僅在生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)設(shè)備的要求越來(lái)越準(zhǔn)確和可靠，而且對(duì)工藝和制造環(huán)境的要求也越來(lái)越高嚴(yán)格。潔凈室是對(duì)環(huán)境敏感的物質(zhì)和產(chǎn)品的過(guò)程制造環(huán)境，主要用于提高產(chǎn)量和產(chǎn)量。但通常會(huì)忽略一些微小的化學(xué)揮發(fā)性氣體，實(shí)際上它們對(duì)許多處理過(guò)程有害，尤其是在集成電路行業(yè)中。因此，為了提供“更清潔”的生產(chǎn)環(huán)境，近年來(lái)，機(jī)載分子污染物AMC已逐漸被人們所認(rèn)識(shí)和重??視。看完這篇文章后，你將明白AMC監(jiān)測(cè)的重要性。
 

　　潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物，AMC，內(nèi)部來(lái)自建筑材料，設(shè)備和材料的釋放，腐蝕和光刻等過(guò)程，化學(xué)物質(zhì)逸出，人員生成，管道泄漏，設(shè)備維護(hù)和維修例如，外部存在于周?chē)諝庵械臍庀辔廴疚锖蜐崈羰业膹U氣排放被送回潔凈室。AMC監(jiān)測(cè)是高科技生產(chǎn)過(guò)程中的關(guān)鍵因素，尤其是在微電子行業(yè)。

　　那么，什么是AMC？AMC是指空氣傳播的分子污染，也縮寫(xiě)為“分子污染”。它包括一系列出現(xiàn)在潔凈室空氣中的污染物，它們以氣體，蒸氣和空氣中的粉塵的形式出現(xiàn)?；瘜W(xué)特性可以是有機(jī)或無(wú)機(jī)的；包括酸，堿，聚合物添加劑，有機(jī)金屬化合物，縮合劑和添加劑的特性。

　　1、AMC描述了多種化學(xué)類(lèi)型，這些化學(xué)類(lèi)型通常會(huì)導(dǎo)致大量潛在的工藝問(wèn)題。

　　2、AMC對(duì)亞微米設(shè)備生產(chǎn)的幾乎任何方面都有影響，基本上貫穿整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程和設(shè)備的終性能。

　　3、半導(dǎo)體制造工藝將300mm晶圓，銅互連和設(shè)備組件的尺寸更改為小于0.01微米，這正在加速將相應(yīng)的制造環(huán)境轉(zhuǎn)變?yōu)榉肿游廴荆ˋMC）。

　　4、AMC監(jiān)測(cè)已成為所有新型半導(dǎo)體制造設(shè)備設(shè)計(jì)要求中的重點(diǎn)之一。

　　5、過(guò)多的MC空氣分子污染物將導(dǎo)致一系列嚴(yán)重后果，例如廢棄的威化餅，停產(chǎn)和凈化潔凈室。因此，AMC監(jiān)視非常重要。